美國(guó)博曼（Bowman）半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀結(jié)合了大功率X射線管和高分辨率探測(cè)器，能夠滿足多鍍層、復(fù)雜樣品和微小測(cè)試面積的檢測(cè)需求。

電制冷固態(tài)探測(cè)器確保極佳的信/躁比，從而降低檢測(cè)下限。

探測(cè)器分辨率極高，能更容易地識(shí)別、量化和區(qū)分相鄰的元素。有害元素檢測(cè)結(jié)果可精確到ppm級(jí)，確保產(chǎn)品滿足環(huán)保要求，幫助企業(yè)降低高昂的產(chǎn)品召回成本和法令執(zhí)行成本。

您可以針對(duì)您的應(yīng)用選擇最合適的分析模型：經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法、基本參數(shù)法或兩者結(jié)合。這款儀器能對(duì)電子產(chǎn)品上的關(guān)鍵組裝區(qū)域進(jìn)行快速篩選性檢測(cè)。一旦識(shí)別出問題區(qū)域，即可對(duì)特定小點(diǎn)進(jìn)行定量分析。大型樣品艙能夠靈活地檢測(cè)大件或形狀不規(guī)則的樣品，大艙門使樣品更易放入。

美國(guó)博曼（Bowman）半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀的產(chǎn)品特點(diǎn)：可檢測(cè)元素范圍：AL13 – U92.可同時(shí)測(cè)定5層/15種元素/共存元素校正.即放即測(cè)！通過自動(dòng)定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量！以最佳的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測(cè)量的精度。無(wú)標(biāo)樣測(cè)量！將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測(cè)量。也可簡(jiǎn)單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測(cè)量位置！通過廣域觀察系統(tǒng)，能夠從畫面上的樣品整體圖（最大250×200mm）中方便地指定測(cè)量位置

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