聚乙烯醇肉桂酸酯 用途廣泛用于制備集成電路、電子元件的光刻工藝,亦適用于印刷線路板、金屬表牌、光學儀器、精密量具等微細圖形的加工。 性質(zhì):又稱1號膠。淡黃色液體。是一種負型光致抗蝕劑,在紫外光照射下聚合,不見光的部分不聚合。曝光顯影后圖形分辨率好,質(zhì)量穩(wěn)定,對二氧化硅、硅、鋁、氧化鉻等材料有良好的附著力,能耐氫氟酸、磷酸腐蝕。廣泛用于制備集成電路、電子元件的光刻工藝,亦適用于印刷線路板、金屬表牌、光學儀器、精密量具等微細圖形的加工。制備方法如下。(1)吡啶法(或稱柯達法)。以吡啶溶解聚乙烯醇后在50℃溫度下滴加肉桂酰氯進行酯化反應,反應結(jié)束后再加丙酮稀釋,在水中沉析、洗凈、干燥即得成品。(2)水乳液法(或稱東工法)。該法采用冷法酯化工藝,以丁酮為溶劑在0℃下進行反應,反應物在汽油中沉析,然后經(jīng)脫水等后處理可制得成
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