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公司基本資料信息
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產(chǎn)品品牌:keyi
產(chǎn)品型號:KY-MP-WS3/WS5
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
1.采用紫外激光冷光源,熱影響區(qū)小,切線質(zhì)量優(yōu)越。
2.無接觸式加工避免加工產(chǎn)生的應(yīng)力,可以有效提高晶粒的切割質(zhì)量和效率,加工后的芯片具有優(yōu)良的電學(xué)特性。
3.配有手動切割和CCD圖像處理系統(tǒng),能實(shí)現(xiàn)手動切割或自動切割。圖像識別系統(tǒng)可自動識別和自動定位。
4.高精度二維運(yùn)動平臺,高精度旋轉(zhuǎn)平臺.
5.軟件全中文操作界面,具有設(shè)備狀態(tài)顯示、故障報(bào)警等功能。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
能主要針對高亮度LED藍(lán)寶石晶圓、可控硅晶圓、二極管、三極管、碳化硅等材料進(jìn)行精密劃切。
【技術(shù)參數(shù)】
型號 | KY-MP-WS3/WS5 |
激光器類型 | 紫外 |
功率 | 3W/5W |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
最大加工尺寸 | 4寸 |
劃片速度 | 80mm/s |
劃槽寬度 | 6 ~ 8µm |
劃槽深度 | 20 ~ 30µm |
行程范圍 | X:200mm,Y:200mm,Z:10mm,θ:任意角度 |
定位精度 | 3μm |
重復(fù)定位精度 | 1μm |
旋轉(zhuǎn)精度 | 0.001度 |
電力要求 | 220V±10%,50-60Hz,2.5KW |