半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片片盒清洗機半導(dǎo)體器件設(shè)備-片盒清洗機型號:CGB-XXXX?XX系列,品牌:華林嘉業(yè)?CGB1.設(shè)備由五大部分組成:清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及
機械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機架及整機。 2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關(guān)鍵件采用進口件,包括氣動閥,PFA管道、全氟循環(huán)系統(tǒng),保證工作介質(zhì)(酸、堿)的潔凈度,避免雜質(zhì)析出。 4.工藝過程全自動,機械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制,可存儲多條工藝時序,方便使用。有需求此方面設(shè)備的朋友,歡迎來電咨詢:010-83270202/52112445/52112455/13811055965/13910297918/耿彪。本公司律師顧問團鄭重聲明:依據(jù)國家有關(guān)法律,在中華人民共和國范圍內(nèi),北京華林嘉業(yè)科技有限公司是唯一擁有對有關(guān)“華林嘉業(yè)”字樣名稱及商標(biāo)等專用權(quán)的合法性公司,任何個人機構(gòu)不得擅自使用。