殘余氣體分析儀 先鋒公司代理美國SRS公司的RGA100殘余氣體分析儀是一種可用于在線監(jiān)測的真空設(shè)備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度。其殘余氣體分析儀可以達到百萬量級的動態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5 10-4Torr的探測極限，帶有分析軟件和RS232接口。優(yōu)異的性能，超高的性價比，完全滿足您真空方面的科研實驗。 在真空腔內(nèi)RGA離子分化器將氣體分子電離，電離后的帶電粒子進入四極桿產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)電場內(nèi)，由于不同的粒子質(zhì)量數(shù)不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉(zhuǎn)半徑就不一樣。相當(dāng)于我們在四極桿上加特定的電場就會有特定質(zhì)量數(shù)的離子打到探測器陽極上，探測器所產(chǎn)生的電流正比于氣體分子的濃度。進一步改變電場，就可以檢測到不同質(zhì)量數(shù)離子的濃度。之后我們再做電場掃描，就可以計算出真空腔中所含氣體的成分。 RGA殘余氣體分析儀主要參數(shù)如下： 100,200and300amusystems Betterthan1amuresolution 6decadesofdynamicrange 5 10 14Torrdetectionlimit RGAWindows LabVIEWsoftware Field-replaceableelectronmultiplierandfilament RS-232interface