一、應(yīng)用領(lǐng)域
1.拋光:用于制備CMP拋光液,用于硅單晶片、砷化鎵片、藍(lán)寶石晶片、半導(dǎo)體化合物晶片、硬盤盤片、寶石、液晶玻璃、鏡頭、金屬表面等產(chǎn)品的拋光。
2.催化劑載體、數(shù)碼印刷等。
二、性能指標(biāo)
指標(biāo)名稱
型號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)
LS30
LS60
LS80
LS100
LS140
粒徑(nm)
20-40
60-80
80-100
100-120
140-160
SiO2含量(重量)
30-40%
30-50%
Na2O含量(重量)
≤0.4%
分散介質(zhì)
水
pH值
2-11可調(diào)
分散狀態(tài)
單分散
膠粒形態(tài)
球型
保質(zhì)期(月)
≥12
三、產(chǎn)品特點(diǎn)
1.粒徑分布窄(±10nm),球形膠粒,結(jié)構(gòu)致密。
2.純度高,金屬離子含量低。
3.可根據(jù)用戶要求設(shè)定粒徑大小、濃度、PH值、離子含量等指標(biāo)。