?MOCVD(me
tal Organic Chemical Vapor Deposition)
是生長高質(zhì)量半導體薄膜材料的
技術(shù)，在LED、半導體激光器、太陽能電池等多個領域都有應用?，F(xiàn)有MOCVD設備
的成本非常高，且完全依賴進口，進行MOCVD設備研究對國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)、新能源
領域以及國防高端技術(shù)的發(fā)展都很有必要。
?MOCVD設備可以分為核心的腔體反應室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以
及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設計，包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難
點，并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。
?氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應，
并把反應后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng)，
反應室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復雜，而且避免MO源的壁面沉積
)對氣體流經(jīng)的關鍵管路持續(xù)吹掃。基于安全考慮，設備需
要定期進行泄漏檢查。
由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆，雨其中的氫化物源又有劇毒，因此，必須對反應過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒
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