A67021 三氯硅烷(三氯氫硅)生產(chǎn)技術(shù)配方制備工藝專利大全 （本輯280元，含下列16項(xiàng)）（特別提示：本站的專利文獻(xiàn)均已被編成word格式，這在業(yè)內(nèi)獨(dú)樹一幟。） 01、一種三氯氫硅提純方法02、三氯氫硅加壓提純方法及其裝置03、大型三氯氫硅合成裝置及合成方法04、一種灌裝電子級(jí)三氯氫硅鋼瓶清洗方法05、用三氯氫硅和四氯化硅混合源生產(chǎn)多晶硅的方法06、四氯化硅氫化生產(chǎn)三氯氫硅的方法07、三氯氫硅(SiHCl3)的制備08、制備三氯硅烷的方法09、三氯硅烷的生產(chǎn)方法10、r-氯丙基三氯硅烷的制備工藝11、3-氯丙基三氯硅烷的制備方法12、乙烯基三氯硅烷的制備方法及其裝置13、通過四氯化硅的催化加氫脫鹵制備三氯甲硅烷的工藝14、通過四氯化硅的催化加氫脫鹵制備三氯甲硅烷的方法15、生產(chǎn)三氯硅烷的方法和用于生產(chǎn)三氯硅烷的硅16、提純?nèi)裙柰楹退穆然璧姆椒ê驮O(shè)備