一、 產(chǎn)品用途本機(jī)主要適用8英寸以下硅片雙面精密研磨加工，同時(shí)適用于光學(xué)玻璃，石英晶片，寶石片，鈮酸鋰，陶瓷片及其他硬脆材料的雙面研磨加工或拋光。 二、 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)1. 進(jìn)口變頻器配合變頻電機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。2. 采用二電機(jī)同步拖動(dòng)，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適應(yīng)不同的研磨材料及研磨工藝的要求。3. 單獨(dú)電機(jī)抬升內(nèi)齒圈，并在總行程范圍內(nèi)隨意停留自鎖，滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求。太陽(yáng)輪高度調(diào)節(jié)只需調(diào)節(jié)太陽(yáng)輪座上的三組不銹鋼片的厚度，十分方便。4. 齒圈座和下磨盤(pán)座，采用了國(guó)內(nèi)先進(jìn)的防腐技術(shù)，進(jìn)行了防腐處理，大大提高了使用壽命。5. 采用PLC控制，壓力采用電 氣比例閥與拉力傳感器實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)反饋控制，壓力過(guò)程實(shí)現(xiàn)了線形轉(zhuǎn)換。主氣缸采用精密無(wú)摩擦力氣缸，整個(gè)控制系統(tǒng)經(jīng)精密調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)上磨盤(pán)最小總壓力穩(wěn)定在50Kg。這樣大大提高了薄形工件的加工精度及合格率。6. 應(yīng)用人機(jī)界面（PT）顯示與PLC控制，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過(guò)其他觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。7. 采用自動(dòng)潤(rùn)滑裝置，用戶可根據(jù)自己的使用情況，設(shè)定自動(dòng)潤(rùn)滑時(shí)間，機(jī)器的各相對(duì)運(yùn)動(dòng)表面，齒輪嚙合部位得到充分潤(rùn)滑，大大提高了整機(jī)的使用壽命。8. 研磨機(jī)配置了高精度的測(cè)厚裝置，工件加工的動(dòng)態(tài)情況通過(guò)（PT）顯示器隨時(shí)可見(jiàn)。9. 拋光機(jī)配置特殊拋光液存儲(chǔ)器，可根據(jù)用戶的加工工藝要求，調(diào)節(jié)拋光液的溫度。 三、 主要技術(shù)參數(shù)1. 上磨盤(pán)尺寸： 1355mm 458mm 50mm2. 下磨盤(pán)尺寸： 1355mm 458mm 50mm3. 磨盤(pán)轉(zhuǎn)速：0~60rpm4. 游行輪參數(shù)：公制m=3，Z=170， =20 5. 游行輪數(shù)量：5個(gè)6. 最小研磨厚度：0.5/ 200mm，0.4/ 150mm7. 最大研磨厚度：30mm8. 最大研磨直徑： 410mm9. 主電機(jī)：18KW 4級(jí) AC380V10.太陽(yáng)輪電機(jī)：1.5KW 4級(jí) AC380V11.內(nèi)齒圈升降電機(jī)：1.5KW 4級(jí) AC380V12.氣源：0.5~0.7Mpa13.外型尺寸：2600 1850 3000mm14.機(jī)器重量：~7000Kg15.沙泵電機(jī)：0.4KW AC380V16.設(shè)備表面顏色：白色 四、 主機(jī)精度1. 下研磨盤(pán)端面跳動(dòng)： 0.08mm2. 研磨盤(pán)平面度： 0.02mm（修正輪修研后）3. 太陽(yáng)輪徑向跳動(dòng)： 0.10mm4. 內(nèi)齒圈徑向跳動(dòng)： 0.18mm 五、 加工精度（修正輪修研后）1. 一致性： 0.008mm2. 平面度： 0.005mm3. 平行度： 0.006mm 六、 加工能力1. 單片承片量：6片/ 150 2片/ 200 2. 整盤(pán)承片量：30片/ 150 10片/ 200 七、 設(shè)備關(guān)鍵部件選用要求1. 氣動(dòng)元件：日本SMC2. 主減速機(jī)：浙江杭州3. 主要軸承：日本NSK4. 變頻器：德國(guó)西門(mén)子5. 可編程控制器（PLC）：德國(guó)西門(mén)子6. 可編程人機(jī)界面（PT）：德國(guó)西門(mén)子7. 拉力傳感器：上海8. 電器開(kāi)關(guān)、按鈕：德國(guó)西門(mén)子