勻膠機(jī) Spin Coater品牌:MIDASMIDAS為勻膠機(jī)(又稱(chēng)為旋涂?jī)x、甩膠機(jī)、Spin Coater等)的知名國(guó)際品牌，目前全球用戶(hù)超過(guò)1800臺(tái)，在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù)，是行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者。技術(shù)規(guī)格：

項(xiàng)目Item	技術(shù)規(guī)格Specification
時(shí)間Time	1~999秒，可調(diào)節(jié)
基底尺寸Substrate Size	~ 4英寸/~6英寸/~8英寸
卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)速度Chuck Rotation Speed	300~8000 rpm，直流伺服馬達(dá)/交流伺服馬達(dá)
勻膠狀態(tài)Spin State	50步，20個(gè)方案控制(數(shù)字程序編輯)
碗腔尺寸Bowl Size	8英寸，鋁(經(jīng)陽(yáng)極氧化工藝)/12英寸，SUS
增/減速率Accele/deceleration Rates	可調(diào)節(jié)
真空卡盤(pán)Vacuum Chuck	鋁(陽(yáng)極氧化)，乙縮醛(Acetal)
電源Electrical Power	220V,5A
無(wú)油真空壓力泵Oilless Vacuum Pump	- 650 mmHg
尺寸(mm) Dimension	230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280

儀器特點(diǎn)：1）桌上型勻膠機(jī)，涂膜厚度范圍：100nm~100um；2）可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液；3）緊湊型設(shè)計(jì)，用戶(hù)編輯、控制、存儲(chǔ)、取出涂膠程序，易于操作；4）加速及減速速率基于設(shè)定的時(shí)間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動(dòng)計(jì)算；5）用戶(hù)通過(guò)勻膠機(jī)前面板顯示屏和按鈕進(jìn)行編輯、控制、存儲(chǔ)、取出涂膠程序，并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作。儀器介紹：勻膠機(jī)有許多名稱(chēng)：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝,可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。