晶圓片托架落座傳感器薄片載體的落座檢測(cè)■依靠與導(dǎo)槽并用，設(shè)定落座位置。■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹(shù)脂。防化學(xué)性能優(yōu)越?！鲈讵?dú)特的光學(xué)結(jié)構(gòu)，幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架?！霾捎脧?qiáng)抗外部干擾光的變調(diào)光方式?！鲭娋€使用凈化電線(無(wú)粉塵)。檢測(cè)方法 反射型檢測(cè)距離 0~3mm動(dòng)作模式 晶圓片托架時(shí)ON導(dǎo)線長(zhǎng) 2mEE-SPY801EE-SPY802額定值/性能項(xiàng)目型號(hào)EE-SPY801/802檢測(cè)距離(標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)物體)0～5mm（反射率90%白色紙15×15mm2）0～3mm（反射率10%黑色紙15×15mm2）檢測(cè)物體晶圓片拖架（透明體·不透明體）動(dòng)作顯示燈物體檢測(cè)時(shí)燈亮（橙色）光源(發(fā)光波長(zhǎng))GaAs紅外發(fā)光二極管(940nm)電源電壓DC12～24V±10%脈動(dòng)(p-p)5%以下消耗電流30mA以下控制輸出NPN型：集電極開(kāi)路輸出、DC5～24V、100mA以下殘留電壓：0.8V以下(負(fù)載電流100mA時(shí))殘留電壓：0.4V以下(負(fù)載電流40mA時(shí))應(yīng)答時(shí)間5ms以下使用環(huán)境照度受光面照度白熾燈、太陽(yáng)光：3,000lx以下環(huán)境溫度動(dòng)作時(shí)：－10～＋55℃、保存時(shí)：－25～＋65℃（不結(jié)冰）環(huán)境濕度動(dòng)作時(shí)：5～85％RH、保存時(shí)：5～95％RH（不結(jié)露）振動(dòng)(耐久)1～500Hz復(fù)振幅1.0mm或150m/s2X、Y、Z各方向3次、11min/次沖擊(耐久)500m/s2X、Y、Z各方向3次保護(hù)結(jié)構(gòu)IEC規(guī)格IP30連接方式導(dǎo)線引出型(標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線長(zhǎng)2m)質(zhì)量(包裝狀態(tài))本體(傳感器)：約43g、附件(導(dǎo)槽)：約9g材質(zhì)外殼四氟乙烯共聚合物（ETFE）底板聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯附件使用說(shuō)明書(shū)