AWM2000系列氣體流量傳感器 型 號(hào)：AWM2100V、AWM2150V、AWM2200V、AWM2300V簡(jiǎn)單介紹：AWM2000系列為小流量無(wú)防大的氣流質(zhì)量傳感器，無(wú)源器件，包含兩個(gè)惠斯通電橋；一個(gè)為閉環(huán)的發(fā)熱控制電路，一個(gè)為雙傳感電路。主要特點(diǎn):1)雙向流量；2）實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感；3）流速0~3sccm到0~1000sccm；4）需要另加發(fā)熱控制及傳感橋路供電電路。