隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無(wú)塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個(gè)很重要的課題。在一個(gè)64-Mbit的集成電路處理中，設(shè)計(jì)要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。在這里用到了化學(xué)增強(qiáng)光學(xué)電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會(huì)導(dǎo)致零件的失效。于是，為了保證正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測(cè)量酸堿氣體使用了擴(kuò)散吸取式采樣器。該擴(kuò)散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進(jìn)行分析。還有多通道型(16點(diǎn))選配件供選擇。兩種型號(hào):CM501，主要測(cè)量堿性氣體;CM502，主要測(cè)量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。特性 堿性氣體的感應(yīng)密度為0.01mg/m3。 酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)的感應(yīng)密度同NH3。 應(yīng)用了可靠的分析技術(shù)-離子色譜技術(shù)。 獨(dú)特的擴(kuò)散吸取式采樣技術(shù)將樣氣中的污染物最小化。 最少的洗提液消耗量,一個(gè)月只需補(bǔ)給一次。 工作站時(shí)時(shí)狀態(tài)變化可由曲線圖表來(lái)監(jiān)測(cè)。 可以預(yù)測(cè)過(guò)濾器壽命。 可測(cè)量最多16點(diǎn)的樣氣(可選)。 CM501型符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)SEMIS2-93A S8-95及CE標(biāo)準(zhǔn)。規(guī)格型號(hào):無(wú)塵室氣體檢測(cè)器CM501及CM502系統(tǒng)規(guī)格測(cè)量CM501;堿性氣體(陽(yáng)離子分析)和酸性氣體(陰離子分析:氧化物、磷酸、SO2等)CM502;堿性與酸性氣體氣體采集方法擴(kuò)散吸取式采樣系統(tǒng)分析方法離子色譜測(cè)量范圍0～50mg/m3最低檢測(cè)范圍界限0.01mg/m3測(cè)量周期最短周期為35min、45min、60min、90min測(cè)量點(diǎn)數(shù)1～16點(diǎn)(可選)校正校正采用標(biāo)準(zhǔn)解決方案，自動(dòng)校正外部聯(lián)系輸出測(cè)量流跳躍信號(hào)、外部報(bào)警信號(hào)、外部報(bào)警重置信號(hào)