日本新宇宙COSMOSXD-303（自動吸引式）半導體特氣檢測儀簡介:--采用定電位電解式傳感器，對被測氣體具有選擇性--高檢測靈敏度、能檢測很多種類的半導體特氣--液晶數(shù)字顯示日本新宇宙COSMOSXD-303（自動吸引式）半導體特氣檢測儀技術參數(shù):型號XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303檢測對象氣體砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它檢測范圍0～1ppm0～0.2ppm0～1ppm0～0.3ppm0～1ppm因規(guī)格而異最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采樣方式自動吸引式應答速度60%應答40秒