平臺(tái)(平板)的局部誤差是指平臺(tái)(平板)工作面局部平面度加工質(zhì)量，包括工作面加工的微觀質(zhì)量和工作面小范圍內(nèi)的局部畸變。所謂加工的微觀質(zhì)量是指加工表面極小間距微小峰谷不平度，即表面粗糙度。表面微觀質(zhì)量好，耐磨損，平板使用壽命高。而工作面小范圍內(nèi)的局部畸變是指加工表面不平整、有變形。這里所說的工作面小范圍，對(duì)小平臺(tái)(平板)而占是局部位置，對(duì)大平臺(tái)(平板)則是局部面積。平整性反映了平臺(tái)(平板)局部誤差。規(guī)格（長 寬）mm精度等級(jí)1級(jí)2級(jí)3級(jí)平面度公差（um）200 200102050300 200122460300 300122460300 400122460400 400122460400 600142870500 500142870500 600142870500 800163280600 800163280600 9001632801000 7501836901000 10002039961000 120020401001000 150024481201000 200026521301500 200028561401500 250032641521500 300035701742000 300036741842000 40004488219