MCV系列質(zhì)量流量控制器適用于真空噴涂工業(yè)Alicat的MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計的。一個啟動截止閥是常閉的,并且保證一個大氣壓下氦氣最大泄露為1x10-9下有效的關(guān)閉。 MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計算時,MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時間。 Alicat的MCV可以在響應(yīng)時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品,并且?guī)椭懦`差。 每個MCV都是預先設(shè)定的30種校準氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過設(shè)備的按鍵或者RS-232來編程設(shè)定,使用RS-232可以通過一對線串聯(lián)最多26臺設(shè)備。 MCV供電電壓為12-30Vdc,單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232(可選PROFIBUS)特點和優(yōu)點 響應(yīng)時間50-100ms 量程 模擬和數(shù)字通信(可選PROFIBUS) 30種預設(shè)定校準氣體 精度 操作量程1%-100% 數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 無預熱時間 小巧設(shè)計,方便替換其他設(shè)備 保證標準大氣壓下氦氣最大泄露1x10-9的氣動截止閥 終身維修