SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)鋁膜反射鏡產(chǎn)品描述：采用真空鍍膜法，在平面基板表面，鍍上一層鋁膜而成的全反射鏡。從可見(jiàn)光到紅外，此類產(chǎn)品都有很高的反射率，而且?guī)缀醪皇苋肷浣堑挠绊??？梢蕴峁┘冧X膜反射鏡和覆蓋了氟化鎂(MgF2)或二氧化硅(SiO2)保護(hù)膜的鋁膜反射鏡。氟化鎂(MgF2)保護(hù)膜防止劃傷及氧化。但其反射率比純鋁膜要低一些。以可見(jiàn)光波長(zhǎng)段的反射率最大為目標(biāo)，對(duì)氟化鎂(MgF2)保護(hù)膜進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。向?qū)у兌鄬与娊橘|(zhì)膜代替氟化鎂保護(hù)膜，這樣可提高反射率5%左右。盡管層數(shù)不多，但因是電介質(zhì)多層膜，制造時(shí)需要指定使用的波長(zhǎng)，入射角等參數(shù)?？刂其X膜反射鏡的氟化鎂（MgF2）保護(hù)膜的厚度，可以實(shí)現(xiàn)在紫外區(qū)域達(dá)到最大的反射率（約85%）。注意反射率曲線是樣品的實(shí)測(cè)值，而且可能隨制造批次不同而變化。檢查光路和調(diào)整光軸時(shí)，請(qǐng)一定戴好激光防護(hù)鏡。面精度是鍍膜前的反射波面精度。Pyrex (派來(lái)克斯玻璃)是康寧公司的注冊(cè)商標(biāo)。材料BK7SFS(人造熔融石英玻璃)Pyrex (派來(lái)克斯玻璃 )光學(xué)膜Al＋MgF2(鋁膜＋氟化鎂保護(hù)膜)：TFA,TFAQ( /4, /10)Al＋SiO(鋁膜＋氧化硅保護(hù)膜)：TFA,TFAQ( /20)Al(鋁膜)：TFAN,TFAQN面精度測(cè)量法采用ZYGO公司激光干涉儀測(cè)量基板面精度測(cè)量用波長(zhǎng)632.8nm平行度 3分表面質(zhì)量40-20有效尺寸范圍實(shí)際尺寸的90%入射角45 技術(shù)參數(shù)：型號(hào)類型 寸尺[mm]t[mm]材料面精度反面狀態(tài)TFA-50C08-10圓形 508BK7 /10光面TFAQ-50C10-20圓形 5010SFS /20光面TFAQN-50C10-20圓形 5010SFS /20光面TFA-60C10-1圓形 6010Pyrex 光面TFAN-60C10-1圓形 6010Pyrex 光面TFA-60C10-4圓形 6010Pyrex /4光面TFAN-60C10-4圓形 6010Pyrex /4光面TFA-60S10-4方形□6010Pyrex /4光面TFAN-60S10-4方形□6010Pyrex /4光面TFA-60S10-10方形□6010Pyrex /10光面TFAN-60S10-10方形□6010Pyrex /10光面TFA-60S10-20方形□6010Pyrex /20光面TFAN-60S10-20方形□6010Pyrex /20光面TFA-80S12-1方形□8012Pyrex 光面TFAN-80S12-1方形□8012Pyrex 光面