型號5400系列質(zhì)量流量控制器/計無焊接結(jié)構(gòu)，金屬密封，精確度 1%，響應(yīng) 1/秒，基本的性能適用于半導(dǎo)體過程控制，而且價格合理。型號5410系列同樣主體的設(shè)計價格也十分合理。 特點通過安裝一個溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)通用的常閉型閥門無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露由于膈膜角座閥較少了死區(qū)間距，主體尺寸和連接的設(shè)計可以和生產(chǎn)商的控制器兼容