美國(guó)AALBORG高精型AFC質(zhì)量流量控制器美國(guó)AALBORG高精型質(zhì)量流量控制器AFC系列氣體質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的流量,美國(guó)AALBORG質(zhì)量流量控制器是一種經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器，AALBORG質(zhì)量流量控制器有鋁和不銹鋼兩種材料.美國(guó)AALBORGAFC質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)特點(diǎn)－剛性金屬結(jié)構(gòu)－流量控制范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到100slpm－最大壓力500psig(34.5Bar)－0-5伏或4-20mA信號(hào)－泄漏率低于1x10-9smL/sec的helium－精度 1%－電路保護(hù)－計(jì)算匯總功能 1.精確度: 1%滿(mǎn)量程度FS(線性范圍:氣體T=15~25℃,壓力=0.7~4.1bas); 2%F.S(線性范圍:氣體T=5~50℃,壓力=0.35~10.3bars)2.重復(fù)性: 0.2%F.S3.時(shí)間常數(shù): AFM系列 300ms AFC2600(Qmax=15sL/min) 300ms AFC3600(Qmax=50sL/min) 600ms AFC4600(Qmax=100sL/min) 600ms4.響應(yīng)時(shí)間: AFM系列在設(shè)置流速(25~100%F.S)的 2%變化值之內(nèi)的響應(yīng)時(shí)間大約為1秒5.溫度系數(shù): 0.1%F.S/℃6.壓力系數(shù): 0.01%F.S/psi(0.07bars)7.最佳氣體壓力:25psig(1.73bars)8.最大的氣體壓力:500psig(34.5bars)max.標(biāo)準(zhǔn)校正壓力為20psig(14bars)進(jìn)氣口壓力9.氣體和環(huán)境溫度:5℃~50℃10.漏率:最大漏率1*10-9smL/sec(He)11.流體接觸材料:316或416不繡鋼,VitonO型圈,備選O型圈:Neoprene或Kalrez12.安裝敏感性:傾斜度不大于 15%,標(biāo)準(zhǔn)校正安裝姿勢(shì)為水平位置13.輸出信號(hào):0~5V(2000 min,負(fù)載阻抗);4~20mA(0~500 ,線圈電阻)線性的直流電信號(hào)。最大的峰值噪音20mV14.連接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600-1/4 compression,fittings,AFM/AFC4600-3/8 compressionfittings.備選1/8 or3/8 compressionfittingsor1/4 VCR fittings15.傳感器輸入功率：AFM/AFC2600 15 5%Vdc,80mAmax,1.2W; 15 5%Vdc,200mAmax,3W; AFC3600/AFC4600 15 5%Vdc,220mAmax,3.3W; 15 5%Vdc,600mAmax,9W.16.電路保護(hù)：電路具極性方向保護(hù)，可更換的保險(xiǎn)絲提供電源輸入保護(hù)。