BESTACE5系列氣體質(zhì)量流量計及控制器，采用了316不銹鋼接液材質(zhì)，具有高穩(wěn)定性、耐用性、低價位、小體積等優(yōu)點，被廣泛用于設(shè)備配套、過程控制、測試設(shè)備等場合。5系列產(chǎn)品采用了熱式測量原理，因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點，且無需平方根修正。同時采取了毛細管取樣方式，具有極低的能耗。每臺設(shè)備出廠前都會按照客戶指定的氣體、量程，嚴格地按照NIST標準進行出廠校準，同時，比例調(diào)節(jié)閥嵌入在流體通道內(nèi)，從而保證了精巧的體積。技術(shù)參數(shù)：熱式原理量程：流量計5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM材質(zhì)：接液部位：316L不銹鋼密封材質(zhì)：標配氟橡膠（Viton）；丁納橡膠（Buna）泄漏率：不超過1 10毫升/秒，氦氣環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度：0-60℃精度：1%FS（包括線性精度）量程比:100:1響應(yīng)時間：1S重復(fù)性：優(yōu)于0.15%FS壓力極限：500PSIG最大壓降：流量計：250Pa控制器：7-14KPa（500SCCM以下）控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）電源：24VDC@250mA（流量計）24VDC@350mA（控制器）輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）設(shè)定點信號：內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）電氣連接：9針D接口（9PinSubD）溫度影響系數(shù)：優(yōu)于0.05%FS/℃壓力影響系數(shù)：優(yōu)于0.01%FS/PSI標準溫度：21℃標準壓力：760Torr重量：流量計：440g控制器：460g