技術(shù)參數(shù) 行程范圍：X軸------500mmY軸------600mmZ軸------400mm結(jié)構(gòu)型式：活動橋式傳動方式：（德國）高精密光杠+預(yù)載荷高精度空氣軸承長度測量系統(tǒng)：RENISHAW（英國）開放式光柵尺，分辨率為0.5μm機臺：高精度花崗巖平臺使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min–120L/min整機尺寸：1.2mX1.4mX2.2m機臺承重：500kg整機重量：850kg