一、技術(shù)參數(shù)行程范圍：X軸----500mmY軸----600mmZ軸----400mm結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式：柔性齒同步帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國(guó)）開放式光柵尺，分辨率為0.5μm機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min–120L/min整機(jī)尺寸：1.2mX1.4mX2.2m機(jī)臺(tái)承重：500kg整機(jī)重量：850kg控制及探針測(cè)量系統(tǒng)：1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī)(日本)2．控制系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）UCC13．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制+微電腦操縱盒（Renishaw MCU1）4．控制軟件：SEREINDMISV2.05．探測(cè)系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）MH20i+TP20（標(biāo)準(zhǔn)配置）6．測(cè)量不確定度（E）：（2.8+L/300）μm三維激光掃描系統(tǒng)(選配)：1.控制軟件：RESCAN2.操作方式：軟件控制3．掃描景深:60mm4．單次掃描寬度：50mm5．掃描速度：1500p/sec6．掃描方式：激光線掃描7．工件裝夾方式：任意裝夾8．掃描精度：≤0.05mm9．?dāng)?shù)據(jù)格式：ASCII通用格式，可通過(guò)軟件轉(zhuǎn)換成IGS、STL、DXF、IMW等專用格式10.激光系統(tǒng)：650nm波長(zhǎng)激光，最大功率5mW,連續(xù)可調(diào)。二、可實(shí)現(xiàn)功能1．柔性定位：找正、旋轉(zhuǎn)、平移及坐標(biāo)存取。2．幾何元素測(cè)量：點(diǎn)、直線、平面、圓、圓柱、圓錐、球、相交、距離、對(duì)稱、夾角。3．形狀誤差定位：直線度、平面度、圓度、圓柱度。4．位置誤差評(píng)定：平行度、垂直度、平面度、傾斜度、同軸度、位置度。5．脫機(jī)編輯系統(tǒng)：自學(xué)習(xí)編程、脫機(jī)編程、自檢糾錯(cuò)功能、CAD導(dǎo)入系統(tǒng)。6．逆向工程。三、機(jī)械特點(diǎn)1．整機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動(dòng)框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，確保了測(cè)量精度及穩(wěn)定性。2．三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測(cè)量過(guò)程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。3．三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，使運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損。4．長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性。5．控制系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制；上下位采用光纖通訊，增強(qiáng)了電氣抗干擾能力。四、應(yīng)用范圍主要應(yīng)用于航空、汽車、摩托車、軍工、電子、模具等行業(yè)。