TESAVISIO200小量程的光學影像測量儀采用了花崗巖底座保證了高的穩(wěn)定性，X軸快速釋放開關(guān)可用于X軸的快速移動。?高精度工作臺?-花崗巖底座?-光柵尺分辨率：0.05um?-高分辨率CCD相機?-固定倍率(0.5X、1X、2X、4X)或手動變焦鏡頭(0.7-4.5X分五個固定倍率)?-透射光(綠色)和表面環(huán)形光均為LED光源?-測量范圍X/Y/Z：200x100x150mm?-精度XY(E2)=3.0um+L/60(L為mm)?-精度Z(E1)=5.9um+L/60(L為mm)?-工作臺承重：10Kg?-TESAVista或Pcdmis軟件