主要技術(shù)參數(shù): 1.真空度測(cè)量范圍: 9.999 10-1~1 10-5 2.離子電流測(cè)量范圍: 9.999 10-1~1 10-7 3.測(cè) 量 誤 差: <10% 4.測(cè)量分辨率: 10-5pa 5.允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃ 6.空 氣 濕 度: 80%RH 7.電 源: AC,220V,50Hz 10% 8.外 型 尺 寸: 420 290 210(mm) 9.高 壓 輸 出: 脈沖30kV15kHz ⒑重 量: 8kg