HMPD-2100C多用途微波等離子體（CVD）系統(tǒng) 技術(shù)特點(diǎn)及用途系統(tǒng)采用HMG-2100C，10kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運(yùn)用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使該系統(tǒng)工作壽命長(zhǎng)，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡(jiǎn)單方便。 微波傳輸系統(tǒng)由高性能大功率微波環(huán)行器，銷釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對(duì)磁控管的良好隔離，并能方便地調(diào)節(jié)最佳匹配，達(dá)到微波功率的最佳傳輸。采用新型大容積橢球型微波反應(yīng)腔可在很寬的運(yùn)行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體，在其焦點(diǎn)處產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。系統(tǒng)主要用途：1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長(zhǎng)；5）等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品型號(hào)： HMPD-2100C微波源： HMG-2100C工作頻率： 2450 50MHz輸出功率： 0.5~10kW 連續(xù)可調(diào)功率穩(wěn)定度： 優(yōu)于 1%輸出波導(dǎo)接口： BJ-22帶FD-22標(biāo)準(zhǔn)法蘭輸入電源： 380V/50Hz 5% 三相四線冷卻水流量： 8L/min微波反應(yīng)腔 400x600大容積橢球腔微波放電腔： 多端口，帶雙層水冷3）真空系統(tǒng)： 真空系統(tǒng)： 600L/min分子泵和旁路機(jī)組，中氣壓真空測(cè)控氣路系統(tǒng)： 4路MFC控制樣品支架系統(tǒng)： 基板直徑 100mm，軸向調(diào)節(jié)距離：0～100mm直流偏壓源： V=300V I=100mA 基片測(cè)溫： K型熱偶，測(cè)溫范圍0~1000℃