ウェーハプロービングマシンとは、ウェーハ上に形成された全てのチップの電気的特性を試験する裝置です。このウェーハテストにより、チップの良品、不良品の選別を行います。ウェーハプロービングマシン：UF3000EX世界No.1サプライヤーが提供する次世代高性能プロービングマシンです。新アルゴリズムによる高速ウェーハハンドリングとブローバ用に新開発した専用駆動ユニットによる高速?高靜粛XYステージの相乗効果により驚異的なスループットを?qū)g現(xiàn)。更に、Z軸は世界最高水準(zhǔn)の耐荷重と高精度を確保し、ポジションによる平面度変化を徹底的に排除するトポロジー最適化構(gòu)造設(shè)計により最高のコンタクトを提供します。UF3000EXでは、OTS最新位置決め技術(shù)を更に進(jìn)化させ、ウェーハアライトメント畫像のカラー処理化や超高倍率機(jī)能の搭載により、精度や操作性も飛躍的に向上しています。ウェーハプロービングマシン：UF3000 獨(dú)創(chuàng)的なOTS、QPU、TTGなど最先端の技術(shù)を融合した超高性能システムにて、次世代デバイスの微細(xì)化、多用なテスト環(huán)境に対し、お客様のニーズに合ったテストシステムをご提供いたします。 特長1OTS最新位置決め技術(shù)（OpticalTargetScope） OTSにより、カメラ間の相対位置を絶対的精度で測定することが可能となり、飛躍的に精度が向上いたしました。OTSはACCRETECH　Metrology技術(shù)を元に、アライメント光學(xué)系の自己相関を可能にしました。 特長2QPU超高剛性チャック（Quad-PodUnit）高い位置決め精度を効率良く再現(xiàn)するには、各部の剛性が非常に大きな役割を擔(dān)います。UF3000ではZ軸に新技術(shù)の4軸駆動機(jī)構(gòu)（QPU）を採用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを?qū)g現(xiàn)しています。 特長3ロードポート8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環(huán)境を提供いたします。AMHS(Automated　MaterialHandlingSystem)にも対応。 特長4TTG(TouchToGo)UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや畫像に觸れた場所に移動できる機(jī)能を採用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による畫面構(gòu)成を可能としています。 ウェーハプロービングマシン：UF2000 世界No.1ウェーハプロービングマシンメーカーとして、常に半導(dǎo)體業(yè)界をリードしてきたアクレーテクの東京精密。LCDドライバー等に代表されるパッドピッチが狹くなるデバイスを?qū)澫螭趣筏扛呔趣?00mmウェーハプローバ「UF2000」は、過去の機(jī)能性?操作性を継承しつつ全ての面で性能を向上させた最新鋭機(jī)です。 特長1総合精度 1.5 mを?qū)g現(xiàn)。 特長2新規(guī)プロセッサの採用、新規(guī)設(shè)計ローダ、畫像処理システムの性能向上により大幅にスループットを向上。 ウェーハプロービングマシン：UF200A 高精度、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長18インチ汎用マシン。 ウェーハプロービングマシン：UF190B 高精度、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長1高機(jī)能、ハイスループット、ハイコストパフォーマンスマシン。 特長2定評の自動針合わせ機(jī)能やカラー液晶タッチパネルをはじめとする、UF200の高機(jī)能?優(yōu)れた操作性をそのままお使えいただけます。 ウェーハプロービングマシン：FP200A 高精度、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進(jìn)化を続けます。微細(xì)化技術(shù)?アセンブリ技術(shù)の進(jìn)化に伴い変化するウェーハ。極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長1薄型ウェーハに対応したフレーム搬送。 ウェーハプロービングマシンネットワーク：VEGANET ウェーハプロービングマシンの稼動狀況を一元管理し、稼働率を一段とアップ。 システムモニター稼動率管理プロ-バステータス管理データ解析 ウェーハプロービングマシンネットワーク：LIGHTVEGA ユーザーホストによるリソースの一元管理できます。 ウェーハプロービングマシンネットワーク：GEMNetworkSystem ウェーハプロービングマシンネットワーク：VEGAPLANET テストエリアの効率向上に貢獻(xiàn)する専用端末群です。特長1品種データ作成端末。特長2リモート操作端末。特長3ロギングデータ解析端末。特長4マップビューア。