微電子工業(yè)、集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴格的要求。 中國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標準（18M .cm、15M .cm、10M .cm、2M .cm、0.5M .cm五級標準）