SUSS光刻機(jī)用曝光燈
SUSSMicroTecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)用光刻機(jī),目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同,該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈,主要是由德國歐司朗Osram公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列,具備良好的光通量,穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下:
HBO short-arcmercuryvarourlampsformicrolithography
LampsforS SS Equipment
Lamptype
Maxlife[h]
Equipment(適用機(jī)型)
HBO200W/DC
1000
MJB3
HBO350W/S
600
MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
HBO1000W/D
1000
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
HBO5000W/S
1000
MA300
以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù):
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