氧碳測試儀功能特點■硅中氧碳含量測試分析系統(tǒng)是高端研究型硅料雜質(zhì)含量儀器，該儀器建立在一個共同的光學(xué)和電子平臺上，達(dá)到儀器性能和應(yīng)用技術(shù)的最高水準(zhǔn)。■硅中氧碳含量測試分析系統(tǒng)為完整的數(shù)據(jù)采集、處理過程提供了功能強(qiáng)大的、與Windows兼容的基礎(chǔ)系統(tǒng)軟件?！龌A(chǔ)系統(tǒng)軟件包含了最廣泛的、友好的在線幫助系統(tǒng)，該系統(tǒng)不僅指導(dǎo)如何操作軟件，還提供了從基本原理、光譜解析到最優(yōu)實驗設(shè)計等一系列專家?guī)椭δ堋鲭s質(zhì)分析軟件功能強(qiáng)大，不僅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自動、快速、準(zhǔn)確的測量，還可以進(jìn)行電池片及半導(dǎo)體膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，F(xiàn)SG分析，SiN/SiON分析■測量結(jié)果穩(wěn)定性好，一致性佳。熱穩(wěn)定性極高的整體塊狀反射鏡消除了傳統(tǒng)單片反射鏡螺絲固定帶來的鏡片容易變形、螺絲容易松動、需要人工調(diào)整光路的弊端，具有極高的重復(fù)性，甚至是儀器間的一致性。精密的機(jī)械加工確保每次掃描的高度再現(xiàn)，徹底消除儀器給實驗結(jié)果帶來偏差■制樣簡便、智能操作技術(shù)參數(shù)1）波數(shù)范圍：7800cm-1~400cm-12）分辨率：優(yōu)于0.5cm-13）波數(shù)精度： 0.01cm-14）掃描速度：0.2~2.5cm/s，微機(jī)控制和選擇不同的掃描速度，檔次連續(xù)可調(diào)5）信噪比：優(yōu)于15，000：16）分?jǐn)?shù)器：KBr基片鍍鍺7）探測器：標(biāo)準(zhǔn)配置DTGS8）軟件：全新中文MainFTOS軟件：Windows9X/2000/XP操作系統(tǒng)下的通用操作軟件系統(tǒng)9）電源：1)交流：220V/50HZ2)功率：1000VA