一、??? 產品簡介

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SuperView W1光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據處理與，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperView W1光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

二、??? 產品功能

1)??? 一體化操作的測量與軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據并提供數(shù)據報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

2)??? ?測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。

3)??? ?測量中提供拼接測量功能。

4)??? ?中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5)??? ?中提供粗糙度、幾何輪廓、結構、頻率、功能等五大功能，其中粗糙度包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)功能；幾何輪廓包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構包括孔洞體積和波谷深度等；頻率包括紋理方向和頻譜等功能；功能包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。