20 余年硬質(zhì)膜涂層與PVD 設(shè)備的制造經(jīng) 驗(yàn)，自主Know-How 與專利之完美體現(xiàn)。 電弧數(shù)量15 套，其中（1）瓷鏡式過(guò)濾電 弧5 套，用于鍍膜底層和梯度膜過(guò)濾層， 弧源特點(diǎn)：膜層細(xì)膩，結(jié)合力高。（2） Φ155 mm 靶材電弧源10 套，用于主功能 膜沉積。本弧源特點(diǎn)：靶溫相對(duì)過(guò)低，膜 層細(xì)化，新結(jié)構(gòu)磁場(chǎng)設(shè)計(jì)，弧斑運(yùn)動(dòng)更理 想穩(wěn)定，沉積速率快，涂層更均勻。 4 縱列弧源配置，可在一個(gè)循環(huán)中沉積3 種不同材料膜系，保證膜層均勻。 殼體蜂巢結(jié)構(gòu)，超強(qiáng)剛性，水冷均勻。 設(shè)備中心配置三段式水冷筒，特別適用于 機(jī)械零部件的低溫沉積。 淬火663 高速鋼滾子/ 牙輪傳動(dòng)，450℃下 鍍膜保證可靠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。 根據(jù)鍍膜工藝優(yōu)選配置0~1500V 連續(xù)可 調(diào)，300V/10~15A，1500V/2~3A 線形離 子源，用于輔助沉積和離子清洗。 根據(jù)工藝特點(diǎn)優(yōu)選進(jìn)口分子泵- 粗抽泵 抽氣系統(tǒng)，2 臺(tái)德國(guó)普發(fā)（pfeiffer） 250/2300 分子泵，歐瑞康 萊寶（oerlikon leybold）羅茨泵- 旋片泵預(yù)抽真空機(jī)組。 運(yùn)行可靠，工藝帶寬闊。INFICON 符合真 空計(jì)和測(cè)量規(guī)管，INFICON 電容膜片真空 規(guī)。 Q 系三菱PLC，一體工控機(jī)，17 寸彩顯觸 摸屏，正版軟件，自動(dòng)控制可靠，擴(kuò)展方 便余量大。