產(chǎn)品用途： 本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、玻璃及其它硬脆材料的雙面拋光。本機從設(shè)備的結(jié)構(gòu)、精度、功能、可靠性、工藝性等方面進行優(yōu)化設(shè)計，性能優(yōu)良，完全能滿足用戶的使用要求。主要特點：1. 本機采用龍門式結(jié)構(gòu)，外型美觀大方，提高了整機剛度。2. 整機的運行采用單電機拖動，通過減速機后由四組不同速比的齒輪給上拋光盤、下拋光盤、齒圈、中心輪提供不同的速度，使四種速度達到最佳的配比，滿足工藝的要求，其中中心輪相對與其它三個轉(zhuǎn)速的速比可調(diào)（兩級），使游輪自轉(zhuǎn)可實現(xiàn)正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)，滿足了不同拋光（修盤）工藝的需求。3. 本機為下拋光盤升降方式、下拋光盤的高低位置可在總行程范圍內(nèi)隨意停留自鎖，以滿足改變游輪嚙合高低位置的需要。4. 本機繼承其它拋光機壓力控制的成功經(jīng)驗：采用四段壓力，即輕壓、中壓、重壓、修研（輕壓）的運行過程。5. 本機采用PLC、四行文本顯示器，變頻調(diào)速，電機速度由外設(shè)電位器手動隨時調(diào)節(jié)；速度由預(yù)設(shè)的四段速度因運行時間而自動改變，四段速度的運行時間與四段壓力時間相對應(yīng)。設(shè)備留有工件測厚裝置接口。6. 接液盆、護圈的設(shè)計采用半露式結(jié)構(gòu)，保證了設(shè)備工作時不會漏砂，并且便于用戶對設(shè)備進行清理。7. 拋光速度的匹配，符合國際上通用的拋光機理，此速度匹配已被普遍認(rèn)可。主要技術(shù)參數(shù)：1. 拋光盤尺寸： 1155mm 349mm 50mm2. 游輪參數(shù)： 英制：Z＝200 DP12 ＝20 公制： Z＝142 M＝3 ＝20 3. 游輪數(shù)量： 5片4. 最小拋光厚度： 0.50mm/ 125mm，0.40mm/ 100mm，0.35mm/ 75mm5. 最大拋光厚度： 30mm6. 最大拋光直徑： 350mm7. 下拋光盤轉(zhuǎn)速: 0～60rpm8. 主電機： 15kW 380V 1460rpm9. 三相電泵 1/4HP 380V10. 外形尺寸（長 寬 高）：2000mm 1550mm 2668mm11. 質(zhì)量：約6000kg主機精度：1. 下研盤端面跳動：0.08mm2. 上、下拋光盤平面度：0.030mm（只檢查下盤）3. 太陽輪徑向跳動：0.12mm4. 齒圈徑向跳動：0.20mm加工能力：1.單片承片量：17片/ 75mm 8片/ 100mm 5片/ 125mm2.整盤承片量：85片/ 75mm 40片/ 100mm 25片/ 125mm