分子式：SF6 分子量：146.05 項 目 國 標 GB/T18867-2002 企業(yè)標準 六氟化硫(SF6)的體積分數/10-2 ≥ 99.99 99.999 空氣的體積分數/10-6 ≤ 50.0 40.0 四氟化碳(CF4)的體積分數/10-6 ≤ 15.0 12.0 濕度(H2O)的體積分數/10-6 ≤ 8.0 6.0 酸度（以HF計）的體積分數/10-6≤ 1.0 0.7 可水解氟化物（以HF計）的體積分數/10-6≤ 1.0 0.7 其他雜質(CO2、C2F6、C3F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10)的體積分數/10-6≤ 15.0 12.0 雜質綜合的體積分數/10-6≤ 100 80 顆粒 由供需雙方商定 由供需雙方商定 性狀： 常溫常壓下為氣態(tài)，它是一種無色、無臭、無毒、無腐蝕性的氣體。熔點－50.8℃，升華點或沸點為－63.8℃，氣體密度6.16g/l（20℃，0.1MPa），在熔點時密度為2.51g/cm3，具有高的絕緣性和滅弧能力。 用途： 電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。 貯存： 應存放于陰涼干燥、通風良好的地方。 運輸： 長途運輸時應附有GB19－73《危險貨物包裝標志》中指定標志。氣瓶充裝系數不大于1.33kg/L。 包裝： 應充裝在潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。（一般情況，使用氣瓶公稱壓力為15MPa時，充裝系數＜1.37㎏/L)。