反滲透超純水設備　　反滲透水處理設備（膜分離）技術的應用使反滲透超純水設備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。 近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ?CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業(yè)。 反滲透超純水設備是采用專用RO技術設計，關鍵部件、設備采用進口名牌產品，工藝先進，質量可靠，可擴展性強，結構合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動化運行，操作維護簡單。一般產水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可達75%以上，脫鹽率98%。產水量隨進水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。 反滲透超純水設備典型工藝流程為： 1:預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點 2:預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點 3:預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點 4:預處理紫外線殺菌裝置一級RO裝置二級RO裝置中間水箱EDI裝置脫氧裝置氮封純水箱除TOCUV裝置拋光混床超濾裝置用水點 水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）