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公司基本資料信息
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產(chǎn)品品牌:華凱
產(chǎn)品型號(hào):SC-2011
Sc-2011型半導(dǎo)體粉末電阻率(四探針)測(cè)試儀是根據(jù)四探針測(cè)試原理研究成功的多用途的綜合測(cè)量裝置,它可以測(cè)量棒狀、塊狀,粉末,半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測(cè)量,還可以對(duì)有機(jī)、無(wú)機(jī)半導(dǎo)體粉末材料(包括納米級(jí))的電阻率測(cè)量, 也可以測(cè)量固體半導(dǎo)體材料,特別適合于太陽(yáng)能多晶硅、硅粉質(zhì)量的測(cè)量、分選和質(zhì)量控制. 電阻率值直接數(shù)字顯示由具有高精度加壓系統(tǒng), 高度測(cè)量的測(cè)試臺(tái)和儀器組成.
可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測(cè)硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻,是硅材料質(zhì)量監(jiān)測(cè)的必需儀器。
儀器為臺(tái)式結(jié)構(gòu),分為電氣箱、測(cè)試架兩大部分,用戶可以根據(jù)測(cè)試需要安放在一般工作臺(tái)或者專用工作臺(tái)上,測(cè)試架由探頭及壓力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、樣品架組成,耐磨和使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置,壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào),測(cè)試架設(shè)有手動(dòng)和電動(dòng)兩種裝置供用戶選購(gòu)。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成,測(cè)量結(jié)果由數(shù)字直接顯示,儀器有自校量程,可以方便地對(duì)儀器的電氣性能進(jìn)行校驗(yàn)。
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn),儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門、高等院校,對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試及工藝檢測(cè)。
1.范圍:電阻率10-4—103Ω—cm,可擴(kuò)展至105Ω—cm,分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /□
電阻10-6—105Ω
2.可測(cè)半導(dǎo)體尺寸:直徑Φ15—150mm
3.測(cè)量方式:軸向、斷面均可(手動(dòng)測(cè)試架)
4.?dāng)?shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測(cè)量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù) 8字)
2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù) 2字)
(3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
20mV檔以上 108Ω
(4)顯示3 1/2位數(shù)字顯示,0—1999
具有極性和過(guò)載自動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
5.恒流源:(1)電流輸出:直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào),由交流電源供給
(2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
(3)電流誤差:±(0.3%讀數(shù) 2字)
6.四探針測(cè)試探頭 (1)探頭間距:1mm (2)探針機(jī)械游率:±0.3%
(3) 探針:Φ0.5mm (4)壓力:可調(diào)
7.測(cè)試架:
(1)手動(dòng)測(cè)試架:探頭上升及下降由手動(dòng)操作,可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測(cè)試。
(2)粉末測(cè)試臺(tái)
8.電流:220V±10% 50HZ或60HZ:功率消耗 35W
9.外形尺寸:電氣箱130×110×400mm