產(chǎn)品特點：傳感器靈敏度高，有極小的始動流量傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232/I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓零點穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性低功耗、低壓損響應(yīng)速度快機械尺寸：技術(shù)參數(shù)：FS5001量程范圍0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 sccm量程比 100：1 精度±（1.5±0.2FS）%重復(fù)性±0.75%零點輸出飄逸±30mV輸出飄逸0.16%/oc響應(yīng)時間100（默認，50，100，200，500，100設(shè)置）ms工作電源8~18Vdc,50mA 輸出方式RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損900Pa最大流量壓力0.8MPa工作溫度-5~+45oC存儲溫度-20~+55oC工作濕度 95%RH(無結(jié)冰、無凝露) 機械接口M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊） 校準方式空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa 重量17.5g