敞開式直線光柵尺 敞開式直線光柵尺設(shè)計用于需要高精度測量的機床系統(tǒng) 典型應(yīng)用包括: 半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備 PCB電路板組裝機 超精密機床 高精密機床 測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備 直接驅(qū)動
機械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無機械接觸。敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。