V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM ●通用型,適用于3MPa以下各種氣體 ●響應(yīng)速度100ms,無需預(yù)熱,上電即可操作 V10FD中高壓型流量計 ●無熱漂移,長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年●數(shù)模兼容,可使用二次表或計算機控制和顯示流量●內(nèi)置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈●內(nèi)置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度 V10FD-M/H采用全不銹鋼傳感器，適合于測量各種與316不銹鋼兼容的氣體。該產(chǎn)品為模擬和數(shù)字兼容型設(shè)計：可通 過模擬型二次表或PLC進行設(shè)定和顯示瞬時流量；也可通過 數(shù)字接口直接與計算機進行通訊。具有通用于模擬型控制系 統(tǒng)和數(shù)字型控制系統(tǒng)的特點。 V10FD-M/H采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量流量測 量原理。多氣體多量程的設(shè)計便于用戶現(xiàn)場配置流量計：通過撥碼開關(guān)可以現(xiàn)場選擇四種測量氣體，每種氣體有3種校 準量程，六個LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-M/H的 各種工作狀態(tài)。如果需要對氣體流量進行控制時,還可以加裝 電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。 與傳統(tǒng)熱式氣體質(zhì)量流量控制器/計不同,當使用氣體轉(zhuǎn)換系 V10FD中高壓型控制器數(shù)時,V10FD-M/H沒有附加的比熱容誤差,所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。 產(chǎn)品應(yīng)用 真空半導(dǎo)體航空航天工業(yè)制造石油化工冶金煤炭環(huán)境分析食品藥品生物科技 技術(shù)參數(shù) 技術(shù)指標: V10FD-M/HC質(zhì)量流量控制器 V10FD-M/HM質(zhì)量流量計量程范圍: 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～250SLM測控范圍: 控制器閥控范圍50:1流量計量程比100:1準確度: 流量： 1.5%讀數(shù) 0.2%滿量程 可選 0.8%讀數(shù) 0.2%滿量程 壓力：0.5%F.S溫度： 1℃線 性: 0.5%F.S重復(fù)精度: 0.2%F.S響應(yīng)時間: 100ms10ms數(shù)字量: RS232/485，MODBUS協(xié)議模擬量: 0～5V、4～20mA、1～5V供 電: 24V/ 15V可選工作溫度: 0～50℃工作壓力: 工作壓差：0.03～0.5MPa工作壓降： 0.01Mpa最大耐壓: 中壓3MPa，高壓10MPa電氣連接: DB15孔漏 率: 1 10-9SCCSHe溫度系數(shù): 0.015%F.S/℃底座材質(zhì): 316L不銹鋼密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠接 頭: VCR1/4;swagelok 6