LINE-TECH會(huì)社是專業(yè)研發(fā)和生產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器(MFC) 氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)的廠家。 產(chǎn)品最大亮點(diǎn)：耐高壓，耐腐蝕 （不防爆） 應(yīng)用范圍：廣泛的應(yīng)用在真空鍍膜設(shè)備，Sputter磁控濺射臺(tái)，PCD,CVD,MOCVD,氧化，等離子刻蝕，單晶爐制造設(shè)備，精密的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，燃料電池，細(xì)胞培養(yǎng)發(fā)酵罐設(shè)備，精密氣體混合分析儀，反應(yīng)裝置，生物反應(yīng)器，生物過程控制器，大學(xué)實(shí)驗(yàn)室，研究所，食品及制藥產(chǎn)業(yè)，二氧化碳飲料灌裝相關(guān)設(shè)備，醫(yī)療設(shè)備等等涉及到人工，電子或電腦控制的氣體相關(guān)作業(yè)。 壓力范圍：M3030 2030 3050 2050系列產(chǎn)品：0.3公斤 90公斤（5psia---1300psia） M3100 M2100系列產(chǎn)品：2公斤 70公斤（30psia---1000psia） 氣體介質(zhì):適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如三氯化硼、三氟化硼、氯化氫、氟化氫等等） 誤差率：由于環(huán)境因素的變化率 1.溫度不同的變化率： 0.1%fs/ C 零點(diǎn)：小于 0.075%fs/ C 最大流量：小于 1.0%fs/10~50 C 2.不同位置的零點(diǎn)變化：最大偏差為 0.5%fs，不是水平安裝的話，安裝完之后從新調(diào)整零點(diǎn)。 3.壓力補(bǔ)償： 0.03%fs/psig 4.預(yù)熱時(shí)間：45分鐘 5.不同供給電源的誤差率： 0.09%fs/電壓變化 原理：熱感式的。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理（無需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門。