概述:WYG2高溫壓力傳感器采用MEMS技術(shù)和SOI技術(shù),集成平膜壓力傳感器芯體,并采用先進(jìn)的梁膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使其具有耐高溫及瞬時(shí)高溫沖擊的能力、動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)高(最高可達(dá)到500KHz)、超高量程(可測(cè)量1000Mpa超高壓力),以及高過(guò)載(最大可承受滿量程20倍)等特點(diǎn)。 耐高溫壓力傳感器 為國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)MEMS領(lǐng)域重點(diǎn)項(xiàng)目成果,并通過(guò)部級(jí)成果鑒定,擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)(發(fā)明專利:ZL01128782.9和ZL001.13961.4)。該壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、國(guó)防、石油、化工、冶金、電力、船舶、汽車(chē)、醫(yī)藥、科研等領(lǐng)域?qū)Ω邷亓黧w的測(cè)量。特點(diǎn):自主制造的微
機(jī)械加工耐高溫壓阻力敏芯片可長(zhǎng)期在高溫下工作靈敏度高、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好動(dòng)態(tài)頻響好高量程、高過(guò)載技術(shù)參數(shù):工作溫度:-40℃~200℃