激光三角法位移測(cè)量的原理是,用一束激光以某一角度聚焦在被測(cè)物體表面,然后從另一角度對(duì)物體表面上的激光光斑進(jìn)行成像,物體表面激光照射點(diǎn)的位置高度不同,所接受散射或反射光線的角度也不同,用CCD光電探測(cè)器測(cè)出光斑像的位置,就可以計(jì)算出主光線的角度,從而計(jì)算出物體表面激光照射點(diǎn)的位置高度。當(dāng)物體沿激光線方向發(fā)生移動(dòng)時(shí),測(cè)量結(jié)果就將發(fā)生改變,從而實(shí)現(xiàn)用激光測(cè)量物體的位移。過(guò)去,由于成本和體積等問(wèn)題的限制,其應(yīng)用未能普及。隨著近年來(lái)電子技術(shù)的飛速發(fā)展,特別是半導(dǎo)體激光器和CCD等圖象探測(cè)用電子芯片的發(fā)展,激光三角側(cè)距器在性能改進(jìn)的同時(shí),體積不斷縮小,成本不斷降低,正逐步從研究走向?qū)嶋H應(yīng)用,從實(shí)驗(yàn)室走向?qū)嶋H。主要技術(shù)指標(biāo)