容易使用的4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)用于實(shí)驗(yàn)室級的器件直流參數(shù)測試、實(shí)時(shí)繪圖與分析，具有高精度和亞fA級的分辨率。它提供了最先進(jìn)的系統(tǒng)集成能力，包括完整的嵌入式PC機(jī)，WindowsNT操作系統(tǒng)與大容量存儲(chǔ)器。其自動(dòng)記錄、點(diǎn)擊式接口加速并簡化了獲取數(shù)據(jù)的過程，這樣用戶可以更快地開始分析測試結(jié)果。更多特性使stress-measure能力適合廣泛的可靠性測試。主要特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn) 集成前沿的脈沖能力和精密DC測量，用于65nm節(jié)點(diǎn)及更小尺寸 直觀的、點(diǎn)擊式Windows 操作環(huán)境 獨(dú)特的遠(yuǎn)端前置放大器，將SMU的分辨率擴(kuò)展至0.1fA 新的脈沖和脈沖I-V能力用于先進(jìn)半導(dǎo)體測試 新的示波器卡提供集成的示波器和脈沖測量功能 內(nèi)置PC提供快速的測試設(shè)置、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印、以及測試結(jié)果的大容量存儲(chǔ) 獨(dú)特的瀏覽器風(fēng)格的軟件界面，根據(jù)器件的類型來安排測試，可以執(zhí)行多項(xiàng)測試并提供測試序列與循環(huán)控制功能 內(nèi)置stress/measure、looping和數(shù)據(jù)分析用于點(diǎn)擊式可靠性測試，包括五個(gè)符合JEDEC的范例測試 支持多種LCR表、吉時(shí)利開關(guān)矩陣配置與吉時(shí)利3400系列和安捷倫81110脈沖發(fā)生器等多種外圍設(shè)備 包括驅(qū)動(dòng)軟件，支持CascadeMicrotechSummit12K系列、KarlSussPA-200和PA-300、micromanipulator的8860自動(dòng)和手動(dòng)探針臺(tái) 先進(jìn)半導(dǎo)體支持包括吉時(shí)利提供的IC-CAP器件建模包驅(qū)動(dòng)程序并支持CadenceBSIMProPlus/Virtuoso和SilvacoUTMOST器件建模工具相關(guān)應(yīng)用 半導(dǎo)體器件 片上參數(shù)測試 晶圓級可靠性 封裝器件特性分析 C-V/I-V特性分析，需選件4200-590高頻C-V分析器 高K柵電荷俘獲 受自加熱效應(yīng)影響的器件和材料的等溫測試 Chargepumping用于MOSFET器件的界面態(tài)密度分析 電阻性的或電容性的MEM驅(qū)動(dòng)器特性分析 光電子器件