官網(wǎng)地址:http://www.xihesun.com/productDetails_djg.asp 供應(yīng)硅片電阻/薄膜方阻測試儀是用來測量硅片、硅單晶、鍺單晶電阻率及硅外延層、擴散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻的測量儀器。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及專業(yè)測量軟件組成。功能特點 本套儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。主機配有恒流源開關(guān),在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護箔膜。主機配置了 小游移四探針頭 ,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本套儀器使用專用軟件進行數(shù)據(jù)采集,可實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值,最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。技術(shù)參數(shù)測量范圍■可測電阻率:0.0001~1.9*104 cm探針■使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確?!隹刂茖毷瘍?nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6 m,保證探針的小游移率?!霾捎锰刂频腟型懸臂式彈簧,使每根探針都具有獨立、準(zhǔn)確的壓力。■量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運動,持久耐磨。恒流源■輸出電流:DC0.001~100mA五檔連續(xù)可調(diào)■量程:0.001~0.01mA0.01~0.10mA0.10~1.0mA1.0~10mA10~100mA■恒流精度:各檔均低于 0.05%直流數(shù)字電壓表■測量范圍:0~199.99mV■靈敏度:10 V■基本誤差: (0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)■輸入阻抗: 1000 M供電電源■AC220V 10%50/60Hz功率:12W使用環(huán)境■溫度:23 2℃相對濕度: 65%■無較強的電場干擾,無強光直接照射重量、體積■主機重量:7.5kg■體積:365 380 160(單位:mm長度 寬度 高度)