WSP-6型半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是專(zhuān)用于各種半導(dǎo)體材料包括:片狀硅料、晶體、晶體等的電阻率測(cè)定的設(shè)備,測(cè)定范圍:0.01-99.99歐姆厘米，是生產(chǎn)廠家硅料分選測(cè)試的理想工具。 1、 主要技術(shù)指標(biāo):電源：220V交流可測(cè)晶片直徑（最大）Ф100mm,方形230 220mm恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦ 0.5%。數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,最大分辨率：100 V電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點(diǎn)、極性、過(guò)載、自動(dòng)顯示0.01-99.99歐姆。厘米輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108 測(cè)量精度： 0.1。最大電阻測(cè)量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1 、1 、10 、100 5%讀數(shù) 2個(gè)字。重?fù)綑z測(cè)誤差（JJG508-87進(jìn)行）：1 1%、0.5 0.5%、0.1 0.1%測(cè)量環(huán)境：溫度23 2℃，相對(duì)濕度 65%2、操作程序： 1、首先連好電源，打開(kāi)后面板電源開(kāi)關(guān)，電源指示燈亮，表示待機(jī)完畢。 2、校準(zhǔn)設(shè)備：厚度小于3.98mm取與要備測(cè)試硅材料厚度相同的硅材料標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測(cè)試儀，測(cè)試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測(cè)試儀 3、測(cè)試：用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準(zhǔn)，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可， 4校驗(yàn)：在測(cè)試過(guò)程中要求2小時(shí)用標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)一次設(shè)備， 3、 針組件;維護(hù)及注意事項(xiàng): 1、一般情況下,除了信號(hào)傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護(hù)主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作 2、維護(hù)后的安裝及維護(hù)過(guò)程中,必須注意安裝過(guò)程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。