SG-III型四探針電阻率測(cè)試儀 SG-III型四探針電阻率測(cè)試儀是用來(lái)測(cè)量母合金、晶塊、晶片、碎片料、米粒料、頭尾料、堝底料、邊皮料等材料方塊電阻的小型儀器。是生產(chǎn)線上大批量選料的理想儀器,具有簡(jiǎn)便的比較功能,操作方便。 本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國(guó)際及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì),它主要由電器測(cè)量部份(主機(jī))及四探針探頭組成(需要時(shí)可配測(cè)試臺(tái))。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供,隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。對(duì)0.001~1.999 *cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量誤差不超過(guò) 5%。(1)測(cè)量范圍: 可測(cè)量電阻率: 0.001~1.999 *cm。最大電阻測(cè)量誤差(按JJG508-87進(jìn)行): 5%(2)恒流源: 輸出電流:10mA~100mA連續(xù)可調(diào),誤差≦ 0.5%。 恒流精度:各檔均優(yōu)于 0.1% (3)供電電源: AC: 220V 10%(保護(hù)隔離) 50/60HZ 功率5W(4)四探針探頭; a.鎢鋼探針 b.間距1 0.01mm c.針尖絕緣電阻 100m d.
機(jī)械游移率≦1.0% e.探針壓力12-16牛頓(總力)(5)使用環(huán)境: 溫度23 2℃ 相對(duì)濕度 80% 無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾 無(wú)強(qiáng)光直接照射(6)使用方法; a. 使用儀器前將電源線、測(cè)試筆聯(lián)接線與主機(jī)聯(lián)接好,電源線插頭插入~220V座插后,開(kāi)啟背板上的電源開(kāi)關(guān),此時(shí)前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會(huì)亮起來(lái)。探針頭壓在被測(cè)單晶上,右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測(cè)量電流,左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差,電流大小通過(guò)旋轉(zhuǎn)前面板右上方的電位器旋鈕加以調(diào)節(jié)。 b. 校準(zhǔn)設(shè)備:用樣塊校準(zhǔn)設(shè)備。 c. 測(cè)試:用四探針接觸硅材料,以探針壓下三分之二為準(zhǔn),待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可.