產(chǎn)品說明SI-MF840四通道可編程流量控制儀，采用先進的高頻PWM開關(guān)、微電腦控制技術(shù)、完善的控制技術(shù)及先進的電路設計技術(shù)研發(fā)設計，用于磁控濺射鍍膜、多弧鍍膜及各種CVD鍍膜設備中，用于氣體流量控制，使得氣體流量按預先編制的曲線進行控制，完成繁雜的氣體流量控制過程。具體功能如下：1) 氣體流量按編制好的流量曲線進行控制，單工藝編程步數(shù)可達1000步，每步最大編程時間為60000S（16.6小時）；2) 本機內(nèi)存10個工藝參數(shù)；3) 具有RS232或RS485計算機通訊接口，可遠程監(jiān)控?？捎糜嬎銠C軟件編輯工藝，下載及上傳。4) 控制精度高，輸出精度可達0.1%，顯示分辨率 1字；5) 多種多重智能保護及故障檢測功能，運行可靠性高；6) 自動調(diào)零功能：控制儀可對流量控制器進行自動調(diào)零，方便操作；7) 控制接口雙極性輸出，可適應國內(nèi)外各種型號的流量控制器；8) LED、LCD雙顯示，顯示直觀，操作界面友好。9) 體積小重量輕。最大外形尺寸483x89x100；10) 輕觸按鍵+飛梭旋鈕控制，操作簡單、使用方便