技術(shù)參數(shù)l 測(cè)量范圍：1nm～4000nm；l 測(cè)量最小值：≤1nm；l 鍍膜折射率范圍：1.300~10.000l 入射角：40°~90°誤差≤0.05°l 偏振器方位角讀數(shù)范圍：0°~180°l 偏振器步進(jìn)角：0.0375°/步l 測(cè)量精度：在10nm處誤差為±0.5nml 光學(xué)中心高度：75mml 允許樣品尺寸直徑：φ10mm~φ120mml 厚度：≤10mm 儀器特點(diǎn)： l 儀器采用消光式橢圓偏振方式測(cè)量，具有精度高、自動(dòng)控制等特點(diǎn) l 光源采用氦氖激光，波長精度高 l 儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于 不同需要，同時(shí)軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求。 成套性： 主機(jī)，USB線，軟件（需配計(jì)算機(jī)）