TubeStar 系列氧化，擴(kuò)散爐為實(shí)驗(yàn)型小型爐，根據(jù)需求定制，請按照以下流程確定規(guī)格:1.氧化過程: N2 和O2的干氧化還是N2, O2, H2和pyrogenic torch 的濕氧化或者N2和O2，高純水蒸汽的濕氧化?2.層流箱（凈化臺）是否需要?3.最高溫度需求: 1100 or 1200 C or 1300 C?4.采用石英管,舟還是SiC管,舟？ (由爐管溫度決定）5.旁路凈化裝置和N2載流口，載氣的氣流控制裝置是否需要?6.需要幾個爐管?7.手動裝載還是機(jī)械裝載? 8.是否會應(yīng)用于薄于100A的氧化層的制備或者20到25微米的厚氧化層的制備?