INFICON復(fù)合真空規(guī) （冷陰極和皮拉尼的復(fù)合）型號(hào)：MPG400和MPG401,INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)MPG400和MPG401,測(cè)量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3.8x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.優(yōu)點(diǎn)：復(fù)合真空規(guī) 冷陰極與皮拉尼寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓無(wú)可燒毀的燈絲卓越的引燃功能易清洗FPM或金屬密封的饋入件高壓加上時(shí)LED指示燈亮對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)應(yīng)用：高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量一般真空測(cè)量和控制，從中至高真空范圍