宇正YZ-1020不銹鋼腔體式多功能微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術有限公司研發(fā)生產(chǎn)，技術先進，性能穩(wěn)定。本裝置等離子體產(chǎn)生效率高，樣品處理均勻；樣品裝卸簡捷，操作方便,維護簡單。該裝置用途廣泛，具有聚合物材料表面刻蝕、清洗、改性、化學氣相沉積、接枝聚合和引發(fā)接枝聚合反應等的能力，可廣泛用于物理、化學、材料等領域。宇正YZ-1020不銹鋼腔體式多功能微波等離子體裝置由微波系統(tǒng)、等離子體發(fā)生室、樣品處理室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)水冷卻系統(tǒng)組成。裝置的主要工作原理是由微波源產(chǎn)生頻率為2450MHz的微波，沿波導管傳輸，最后在諧振腔的真空室（等離子體反應室）內(nèi)激勵氣體形成軸對稱的等離子體球，等離子體球的直徑大小取決于等離子體發(fā)生室中的氣體壓力和微波功率。樣品溫度以微波等離子體的自加熱方式達到。該裝置的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6 10－2帕，抽速2升/秒，額定轉速1400轉/分，機械泵與真空室之間設置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥），以便于真空系統(tǒng)運行安全及工作時反應氣體壓強的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常相對不動接口采用金屬密封，相對可動接口采用橡膠密封。真空測量采用數(shù)字壓阻式真空計，用來測量反應腔內(nèi)的工作氣壓。等離子體發(fā)生室與樣品處理室分開，均為不銹鋼腔體。樣品處理室ф262（內(nèi)徑） 165（高），左、右側及前門上各有一個（共3個）ф50觀察窗，樣品裝卸門146（寬） 68（高），內(nèi)有ф120 （直徑）水平樣品臺，樣品臺面離樣品處理室底面高度兩級可調(diào)節(jié)27-57-87。 等離子體發(fā)生室ф144（內(nèi)徑） 96（高）處于樣品處理室之上。兩路氣體輸入，在等離子體發(fā)生室頂部中心輸入工作氣體，可用氮氣、氧氣、氦氣等常用氣體。 微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0－800W連續(xù)可調(diào)（最大功率可達1200W）。帶有微波輸出功率顯示（精確至1W）和反射指示?？砷L時間連續(xù)工作。裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。 自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水.制冷系統(tǒng)可保證冷卻水溫度在30度以下,無水源要求. 真空度數(shù)字顯示，精確至1Pa。 氣體流量在較大范圍可調(diào)并顯示（精確至0.01L/min）。 無電極放電，避免放電污染，能量轉換效率高。